此时何🟆🚼玉光也是首先介🈘⚍绍了瑞星科技公司在光源系统上的技术进展🍘🈛。
“这次我们为大家带来了最先进的深紫外光刻机光源系统，这套光源系统是我们采用了深紫外固态激光光源，通过激光倍频技术我们做到了波长在35纳米的光源，通过我们公司内部技术人员的各种模拟测试，结果表明这套光😧🃭🛀源可以在征服百分之零点二的输出剂量长时间稳定进行工作，完全可以满足商业光刻机进行扫描照射的要求。”
何玉光一脸自豪地说道：“相比较于之前传统的气体激光🐼🅋光源，我们这套光🝻🐘源并不需要长时间的预热，在非常短的时间里面就可以提高到最大的功率，并且不需要中途进行激光燃料的更换，最大限度🍺地减轻客户的使用成本。”
“现在我们研制的这套光源系统总的输出功率可以做到220瓦，完全可以满足双工件台同时进行工作。经过大量的模拟测试，搭载这套光源系统🎞💋的光刻机具备每小时刻蚀140张12英寸晶圆的能力。”
在何玉光🗋进行解说的同时，身后的超大屏幕上也是演示了光源系统🍘🈛工作的模拟动画，台🙩下的众人此时都是露出不能置信的神情！
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何玉光一脸自豪地说道：“相比较于之前传统的气体激光🐼🅋光源，我们这套光🝻🐘源并不需要长时间的预热，在非常短的时间里面就可以提高到最大的功率，并且不需要中途进行激光燃料的更换，最大限度🍺地减轻客户的使用成本。”
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