22章 、法术芯片制作工艺(1/3)
与此同时。
李察拿着沙子,进入了伊甸园中。
走进主实验室🙉🈤,把沙☟🀪⛒子倒入一个漏斗状的容器中,就开始清洗、筛选、过滤,经过不少的流程,最后得到合格的🜴🆖纯净沙子。
把纯净沙子😖🁗转移到另一个圆柱状的容器中,掺入大量的焦炭,放入特殊的熔炉内就🕞开始☫加热。
加🖷🗌🚑热过程中,沙子发出声响,李察清楚,这是沙子的成分——二氧化硅(SiO2),与🅳📑焦炭的成分——碳(C)反应,最终会生成冶金级别的、粗度在98%左右🟣的粗硅(Si)。
加热之后,李察得到了足够的粗硅,没有犹豫,又快速的开始进行第二步处理。具体操作,就是用盐酸进行氯化,🈵然后蒸馏,一步步的制作出高纯度的多晶硅。按照标准,制作出了的高纯度多晶硅,其纯度为9🃰🜵9.999999999%—🃑—一共11个9——这是硬性要求,如果达不到,之后制作出了的产品,很有可能存在一定的缺陷。
进行完这一😖🁗步,检测合格后,李察没有停下,👧又开始把多晶硅放入特制容器中,在高温效果下熔解成高温液体。
成功熔解后,在液体中放入一小粒硅晶体硅种👧,以这一粒硅晶体硅种作为附着物,让液体在底部一点点的成形。当放入的、系着线的硅晶体硅种,被缓缓的拉出来的时候,在硅晶体硅种的下面便形成了一根圆棒。这是单晶硅晶棒,也就是所谓的“长晶”,能看到长晶呈标准😳🅛的圆柱体,半径和最初放入的硅晶体硅种一致。
至此,芯片的底片就完🏐成了制作阶段,接下来的是加工阶段。
把制作出来的单晶硅晶棒收起,李察迈步,快速走出了主实验🄶室,前往了机械加工🕞扇区,然后进入研究室。
在研究室内,李察把单晶硅晶棒放上加工台,保持竖直状态,调整机械臂下移,开始🛃🙱🎏进行精准的切割。
“刷!”
机械臂挥过,就看到单晶硅晶🗻♋棒立刻被削去一层,削去的部分正好是一个薄薄的圆片,直径十多厘米。
把圆片细细打磨、抛光,就看到圆片的表面光亮无比,宛如镜子,🇹成为了一个合格的圆晶——硅晶圆片,♲这算是集成电路工业🌣中,最基本的原料。
把圆📷🟡晶按照一定规格切割后,便是芯片📵🟎最原始的状态,也就是所谓的底片。
至此,底片制作完成。
……
底片制作完成后,需要解决的便是光刻胶和🛷显影液。
光刻胶🗋🚁🐙是涂抹在底片上的液体,在被特殊的光线照射后♖🈜⚴,会产生特殊的变化,然后浸入显影液中,进行特♲殊的反应,便能得到蒙板上的图案。
一般📷🟡来说,光刻胶有☟🀪⛒两大类——正性光刻🖀🏣胶,和负性光刻胶。
正性光刻胶,是曝光部分发生光化学反应溶于显影液,未曝光部分不溶于显影液,仍然保留在衬底上👭,最终在衬底形成的图案和蒙板上的图案相同。
负性光刻胶,是曝光部分因为交联固化作用不溶于显影液,未曝光部分则溶于显影🕞液,最终在衬底形成🝥的图案和蒙板🚕上的正好相反。
李察拿着沙子,进入了伊甸园中。
走进主实验室🙉🈤,把沙☟🀪⛒子倒入一个漏斗状的容器中,就开始清洗、筛选、过滤,经过不少的流程,最后得到合格的🜴🆖纯净沙子。
把纯净沙子😖🁗转移到另一个圆柱状的容器中,掺入大量的焦炭,放入特殊的熔炉内就🕞开始☫加热。
加🖷🗌🚑热过程中,沙子发出声响,李察清楚,这是沙子的成分——二氧化硅(SiO2),与🅳📑焦炭的成分——碳(C)反应,最终会生成冶金级别的、粗度在98%左右🟣的粗硅(Si)。
加热之后,李察得到了足够的粗硅,没有犹豫,又快速的开始进行第二步处理。具体操作,就是用盐酸进行氯化,🈵然后蒸馏,一步步的制作出高纯度的多晶硅。按照标准,制作出了的高纯度多晶硅,其纯度为9🃰🜵9.999999999%—🃑—一共11个9——这是硬性要求,如果达不到,之后制作出了的产品,很有可能存在一定的缺陷。
进行完这一😖🁗步,检测合格后,李察没有停下,👧又开始把多晶硅放入特制容器中,在高温效果下熔解成高温液体。
成功熔解后,在液体中放入一小粒硅晶体硅种👧,以这一粒硅晶体硅种作为附着物,让液体在底部一点点的成形。当放入的、系着线的硅晶体硅种,被缓缓的拉出来的时候,在硅晶体硅种的下面便形成了一根圆棒。这是单晶硅晶棒,也就是所谓的“长晶”,能看到长晶呈标准😳🅛的圆柱体,半径和最初放入的硅晶体硅种一致。
至此,芯片的底片就完🏐成了制作阶段,接下来的是加工阶段。
把制作出来的单晶硅晶棒收起,李察迈步,快速走出了主实验🄶室,前往了机械加工🕞扇区,然后进入研究室。
在研究室内,李察把单晶硅晶棒放上加工台,保持竖直状态,调整机械臂下移,开始🛃🙱🎏进行精准的切割。
“刷!”
机械臂挥过,就看到单晶硅晶🗻♋棒立刻被削去一层,削去的部分正好是一个薄薄的圆片,直径十多厘米。
把圆片细细打磨、抛光,就看到圆片的表面光亮无比,宛如镜子,🇹成为了一个合格的圆晶——硅晶圆片,♲这算是集成电路工业🌣中,最基本的原料。
把圆📷🟡晶按照一定规格切割后,便是芯片📵🟎最原始的状态,也就是所谓的底片。
至此,底片制作完成。
……
底片制作完成后,需要解决的便是光刻胶和🛷显影液。
光刻胶🗋🚁🐙是涂抹在底片上的液体,在被特殊的光线照射后♖🈜⚴,会产生特殊的变化,然后浸入显影液中,进行特♲殊的反应,便能得到蒙板上的图案。
一般📷🟡来说,光刻胶有☟🀪⛒两大类——正性光刻🖀🏣胶,和负性光刻胶。
正性光刻胶,是曝光部分发生光化学反应溶于显影液,未曝光部分不溶于显影液,仍然保留在衬底上👭,最终在衬底形成的图案和蒙板上的图案相同。
负性光刻胶,是曝光部分因为交联固化作用不溶于显影液,未曝光部分则溶于显影🕞液,最终在衬底形成🝥的图案和蒙板🚕上的正好相反。